99.5% Tinggi-Kebersihan PSA Oxygen Generator untuk Semikonduktor Manufaktur

Generator oksigen PSA(Generator Oksigen Adsorpsi Swing Tekanan) adalah peralatan bersih utama dalam industri manufaktur semikonduktor.mencapai pemurnian mendalam melalui saringan molekul berlapis ganda (saringan molekul biasa + saringan molekul kemurnian tinggi) untuk menghasilkan oksigen kemurnian tinggi dengan konsentrasi lebih dari 990,5%.

Ini memiliki keuntungan utama seperti kemurnian yang stabil, kebersihan tinggi, operasi yang dapat diandalkan, dan nol emisi polutan,yang dapat memenuhi persyaratan yang ketat untuk kemurnian oksigen dan kebersihan dalam proses seperti oksidasi dan deposisi film tipis selama pembuatan semikonduktor. Sebagai konfigurasi tingkat atas untukPsa kemurnian tanaman oksigen, kotoran (nitrogen, kelembaban, karbon dioksida, dll) dalam oksigen yang dihasilkan oleh peralatan ini semuanya dikendalikan di bawah tingkat ppm,menghindari penurunan hasil chip yang disebabkan oleh kemurnian oksigen yang tidak cukupIni adalah peralatan pasokan oksigen inti yang sangat diperlukan untuk manufaktur semikonduktor.

Produksi semikonduktor merupakan puncak dari manufaktur presisi, dengan proses chip telah memasuki skala nanometer (5nm, 3nm).penurunan kinerjaOksigen terutama digunakan dalam proses inti seperti oksidasi (membentuk lapisan isolasi SiO2) dan Deposisi Uap Kimia (CVD) dalam pembuatan semikonduktor.Kemurnian oksigen secara langsung mempengaruhi keseragaman ketebalan lapisan isolasi, adhesi film, dan kinerja listrik chip.

Oksigen kelas industri biasa (93% kemurnian) mengandung kotoran seperti nitrogen dan kelembaban yang dapat membentuk cacat pada permukaan chip, yang menyebabkan penurunan 10-20% dalam hasil; sebaliknya, 99.5% oksigen kemurnian tinggi dapat mengendalikan kandungan kotoran di bawah tingkat ppm, secara efektif menghindari pembentukan cacat dan memastikan chip yield tetap stabil di atas 90%.Generator oksigen PSAdapat menghilangkan kotoran seperti nitrogen, kelembaban, dan karbon dioksida dari udara.Psa kemurnian tanaman oksigenpresisi kontrol jauh melebihi dari peralatan produksi oksigen tradisional, sepenuhnya memenuhi persyaratan proses pembuatan semikonduktor.

Selain itu, manufaktur semikonduktor memiliki persyaratan yang sangat tinggi untuk kebersihan oksigen. gas output harus memenuhi klasifikasi kamar bersih Kelas 100 (tidak lebih dari 100 partikel ≥ 0.5 μm per kaki kubik udara).Generator oksigen PSAdilengkapi dengan sistem filtrasi gas efisiensi tinggi yang dapat menyaring partikel kecil dalam oksigen, menghindari kontaminasi partikel pada permukaan chip dan lebih lanjut memastikan kualitas chip.

Saat membeliGenerator oksigen PSA, perusahaan semikonduktor harus mematuhi empat prinsip inti: "kemurnian yang berkualitas, kompatibilitas kamar bersih, stabilitas dan keandalan, dan kualifikasi pemasok yang lengkap".

• Dari segi kemurnian, sangat penting untuk memilih peralatan dengan kemurnian oksigen ≥ 99,5% dan kandungan kotoran yang memenuhi persyaratan proses semikonduktor,dan meminta pemasok untuk memberikan laporan uji pihak ketiga (seperti SGS, ITS)
• Dalam hal kompatibilitas kamar bersih, perlu dikonfirmasi bahwa kebersihan gas keluaran peralatan ≥Kelas 100 dan casing peralatan memenuhi persyaratan instalasi kamar bersih.
• Dalam hal stabilitas dan keandalan, prioritas harus diberikan pada produk dengan waktu operasi terus menerus ≥ 8.000 jam/tahun dan garansi untuk komponen inti ≥ 3 tahun
• Kualifikasi pemasok sangat penting.Psa berbasis pembangkit oksigenkualifikasi produksi, sertifikasi sistem manajemen mutu ISO9001 dan sertifikasi industri semikonduktor yang relevan (seperti sertifikasi SEMI),dan meminta mereka untuk memberikan kasus sukses di industri semikonduktor

Layanan purna jual harus memenuhi persyaratan tinggi industri semikonduktor.dan pasokan suku cadang cepat untuk memastikan operasi stabil peralatan jangka panjang.

Dengan keuntungan kemurnian tinggi 99,5%,Generator oksigen PSAtelah menjadi patokan untuk pasokan oksigen bersih dalam pembuatan semikonduktor.dan kinerja operasi yang stabil dapat memberikan dukungan pasokan oksigen yang andal untuk proses semikonduktor, menjadikannya peralatan kunci bagi perusahaan manufaktur chip untuk meningkatkan hasil dan mengurangi biaya.